SiC涂層石墨基座常用于金屬有機物化學氣相沉積（MOCVD）設備中支撐和加熱單晶襯底的部件。SiC涂層石墨基座的熱穩(wěn)定性、熱均勻性等性能參數(shù)對外延材料生長的質(zhì)量起到?jīng)Q定性作用，因此是MOCVD設備的核心關鍵部件。關鍵詞：在晶圓制造過程中，一些晶圓襯底上要進一步構建外延層以便于制造器件，典型的有LED發(fā)光器件，需要在硅襯...

一、Cf/SiC復合材料的特點Cf/SiC復合材料是指由碳纖維作為增強體，碳化硅作為連續(xù)基體的一類新型復合材料。Cf/SiC復合材料不僅具有高性能陶瓷的高強度、高模量、高硬度、耐沖擊、抗氧化、耐高溫、耐酸堿、熱膨脹系數(shù)小、比重輕等優(yōu)點，同時還克服了一般陶瓷材料的脆性大、功能單一等缺點，是公認的理想高溫結(jié)構材料和摩擦材...

所謂復合材料是指由兩種或兩種以上的組分材料，運用一定的工藝技術制備組合而成的多相新材料體系，其綜合性能優(yōu)于各自組分材料。先進復合材料指用高性能增強體如碳纖維、芳綸等高性能耐熱高聚物構成的復合材料，包括金屬基、陶瓷基和碳(石墨)基以及功能復合材料，復合材料的各個組成材料在性能上起協(xié)同作用，與傳統(tǒng)材料相比...