SiC涂層石墨基座常用于金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積（MOCVD）設(shè)備中支撐和加熱單晶襯底的部件。SiC涂層石墨基座的熱穩(wěn)定性、熱均勻性等性能參數(shù)對(duì)外延材料生長(zhǎng)的質(zhì)量起到?jīng)Q定性作用，因此是MOCVD設(shè)備的核心關(guān)鍵部件。關(guān)鍵詞：在晶圓制造過(guò)程中，一些晶圓襯底上要進(jìn)一步構(gòu)建外延層以便于制造器件，典型的有LED發(fā)光器件，需要在硅襯...

一、Cf/SiC復(fù)合材料的特點(diǎn)Cf/SiC復(fù)合材料是指由碳纖維作為增強(qiáng)體，碳化硅作為連續(xù)基體的一類新型復(fù)合材料。Cf/SiC復(fù)合材料不僅具有高性能陶瓷的高強(qiáng)度、高模量、高硬度、耐沖擊、抗氧化、耐高溫、耐酸堿、熱膨脹系數(shù)小、比重輕等優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)還克服了一般陶瓷材料的脆性大、功能單一等缺點(diǎn)，是公認(rèn)的理想高溫結(jié)構(gòu)材料和摩擦材...

所謂復(fù)合材料是指由兩種或兩種以上的組分材料，運(yùn)用一定的工藝技術(shù)制備組合而成的多相新材料體系，其綜合性能優(yōu)于各自組分材料。先進(jìn)復(fù)合材料指用高性能增強(qiáng)體如碳纖維、芳綸等高性能耐熱高聚物構(gòu)成的復(fù)合材料，包括金屬基、陶瓷基和碳(石墨)基以及功能復(fù)合材料，復(fù)合材料的各個(gè)組成材料在性能上起協(xié)同作用，與傳統(tǒng)材料相比...